MEMS cantilever Type
반도체 제조 기술을 응용한 정밀 MEMS 공정 기술을 통해 3차원 형상의 MEMS cantilever probe를 구현하며, 신호의 Noise가 적고 전기적 특성이 매우 우수하여 DRAM 및 CMOS Image Sensor 등에 적용됩니다.
동시 검사 chip 수를 극대화 하여 고객의 wafer test 효율을 크게 향상 시킬 수 있으며, 특히 CMOS Image Sensor용 고 집적, 고 효율 probe card 시장을 선도하고 있습니다.
세계 최초 64para급 CMOS Image Sensor용 MEMS probe card 개발
세계 최초 169para 급 FWC(Full Wafer Contact) type CMOS Image Sensor용 MEMS probe card 개발
세계 최초 169para 급 FWC(Full Wafer Contact) type CMOS Image Sensor용 MEMS probe card 개발
Application | CMOS Image Sensor (CIS) | DRAM | |
Illumination type | Diffusion filter | Lenz | – |
Min. probe pitch | 85㎛ | 64㎛ | |
Max. parallelism | 64para / 169para (FWC type) | 256para | |
Max. test speed | 2 Gsps (3.5 Gsps under development) | – | |
Temp. range | -40℃ ~ 150℃ |