专利登记证


특허 제10-0821996
특허 제10-0802342
특허 제10-0788750
전자 소자 검사용 마이크로 프로브 및 그 제조 방법
웨이퍼 접합 기술을 이용한 프로브 구조물 제조 방법
외팔보 형태의 프로브 카드 및 그 제조 방법
실란계 화합물을 이용한 표면 또는 몸체 미세 가공 기술의 점착 방지 방법
브릿지 형태의 프로브 카드 및 그 제조 방법
반도체 소자 테스트용 프로브 구조물 및 그 제조 방법
깊게 파진 트렌치를 구비하는 프로브 카드 및 그 제조 방법
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